本設計的微位移傳感器是基于像散法光學檢焦技術設計的微位移檢測系統。該系統通過四象限光電探測器所測得的聚焦誤差信號計算出被測平面與焦點之間的位移差，并將數據經由微處理器顯示且發送至計算機完成數據傳輸與保存。
設計實現的主要功能：
（1）能用于微米級的微位移檢測
（2）能將傳感器所測得的數據經過運算后得到離焦量
（3）能將測量結果經數碼管顯示
（4）實現非接觸式檢測
（5）測量速度小1ms。
設計的技術指標:測量范圍：4mm，精度，±2um。
本文分三大部分。第一部分包括第一章，描述微位移技術的發展背景，以及介紹目前微位移技術在我國以及國際的一些發展情況。第二部分包括第二、三章，給出高速微位移測量儀的硬件設計和軟件設計。第三部分包括第四章,得出本設計的結論并對設計的下一步工作做出展望。